环境控制：确保实验室的温度、湿度、震动、磁场强度等条件满足仪器要求，通常温度需控制在20~25℃，相对湿度小于70%，并配备减震设施和消磁器。

　　光学系统维护：定期检查电子枪、电磁透镜、扫描线圈等部件的状态，确保光阑对中良好，及时调节像散，保持图像清晰。同时，关注电子束束流和灯丝寿命，及时更换老化的灯丝。

　　真空系统维护：保持镜筒和样品室的高真空度，定期检查真空泵的工作状态，定期更换真空泵油，清洁真空管道和阀门，确保真空系统稳定运行。

　　通过全面的维护措施，可以确保超高分辨场发射扫描电子显微镜的长期稳定运行和高质量成像。