测量质量流量

　　无需温度和压力补偿

　　结构紧凑

　　精度高

　　工作压力高

　　响应时间快

　　重复性高

　　GAF质量流量控制器技术参数

　　量程范围：0-100slpm

　　精度：±1%满量程

　　量程比：50：1

　　重复性：<0.2%读数

　　操作温度：-10~50℃

　　泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He

　　预热时间：标准30min

　　压力等级：3MPa;10MPa

　　接液材质：316L

　　密封材质：标准Viton，可选EPDM、Kalrez

　　防护等级：IP40

　　供电电源：+15~24VDC

　　电流：70mA

　　模拟量输出信号：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC

　　数字输出信号：无

　　电气接口：标准DB9 M

　　过程接口尺寸：可选

　　GAF质量流量控制器订货参数

　　气体种类

　　量程范围（标准状态下量程）

　　使用压力

　　入口压力

　　使用温度

　　精度要求

　　输出信号

　　过程接口尺寸

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